El mejor método para verificar que un archivo no haya sido modificado o alterado

Question

Estoy trabajando en una solución y una de las características es verificar que algunos archivos no hayan sido manipulados en otras palabras. Estaba planeando usar la suma MD5 con una mezcla de fechas creadas y modificadas, pero quería ver si alguien ha hecho algo como esto antes. Estoy usando C# en este momento, pero podrías sugerir cualquier otro idioma. Solo quiero escuchar la técnica parte o arquitectura.